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            華測半導體封裝材料高低溫真空探針臺

            簡要描述:華測半導體封裝材料高低溫真空探針臺,溫度范圍77K-675K(液氮);可應用于真空及常規環境;超高溫度分辨率;特殊客制低溫系統;具有較好穩定性

            • 產品型號:
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2024-12-12
            • 訪  問  量:1547

            詳細介紹

            品牌HUACE/北京華測產地類別國產
            應用領域化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

            Huace HT-11高低溫真空探針臺

            華測半導體封裝材料高低溫真空探針臺



            華測半導體封裝材料高低溫真空探針臺特點/應用

            ◆ 2至6英寸樣品臺

            ◆ 高真空腔體

            ◆ 防輻射屏設計,樣品溫度均勻性更好

            ◆ 77K-675K高低溫環境

            ◆ 兼容IV/CV/RF測試

            ◆ 外置多探針臂,移動行程大

            ◆ 經濟實用,可無縫升級


            華測半導體封裝材料高低溫真空探針臺極低溫測試:

            因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

            高溫無氧化測試:

            當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

              晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。


            華測半導體封裝材料高低溫真空探針臺技術參數:

            腔體規格

            樣品臺尺寸

            2英寸/4英寸/6英寸

            樣品固定

            彈簧壓片

            觀察窗口

            2英寸/4英寸/6英寸

            真空度

            10-6torr

            探針臂接口

            4~6個探針臂接口

            其他接口

            電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

            制冷方式

            液氮/液氦/制冷機

            溫度范圍

            77K到573K/4.5K到573K

            溫控精度

            0.1K/0.01K/0.001K

            穩定性

            ±1K/±0.1K/±0.01K外形

            外形

            880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高

            重量

            約20KG/30KG

            光學系統

            顯微鏡類型

            單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

            放大倍率

            16X-200X/20X-4000X

            移動行程

            水平360度旋轉,Z軸行程50.8mm

            光源

            外置LED環形光源/同軸光源

            CCD

            200萬像素/500萬像素/1200萬像素

            探針臂

            X-Y-Z移動行程

            50mm*50mm*50mm

            結構

            外置探針臂,真空波紋管結構

            移動精度

            10微米/1微米

            線纜

            同軸線/三軸線/射頻線

            漏電精度

            10pA/100fA/10fA

            固定探針

            彈簧固定/管狀固定

            接頭類型

            BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

            頻率支持

            DC-67GHZ

            針尖直徑

            0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

            其他組件

            真空組件

            分子泵組/機械泵/離子泵

            冷源組件

            50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機

            可選附件:

            超高溫配件;
            顯示器;
            轉接頭;
            射頻測試配件;

            屏蔽箱;

            光學平臺;
            鍍金卡盤;
            光電測試配件;

            高壓測試配件;

            分子泵組;

            激光系統;

            氣敏測試配件;




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