視頻采集技術(shù)在四探針測試系統(tǒng)中的應(yīng)用

四探針測試技術(shù)是半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要監(jiān)測手段之一，并且在半導(dǎo)體材料的測量中發(fā)揮著越來越重要的作用。四探針測試技術(shù)是一種測量技術(shù)，在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針法對探針的結(jié)構(gòu)、位置和針尖距都有不同的要求，一般情況下，針距都是很小的，可能低于1mm。在大片徑樣品測量中，要盡可能地減小測量區(qū)域，以便好地觀測樣品電阻率的不均勻性。

鑒于以上原因，在測量時需要對測試臺、樣品和探針都進(jìn)行細(xì)微的實時監(jiān)測，保證測量是在允許的情況下進(jìn)行的。但是人的肉眼的分辨率有限，直接依靠肉眼觀測容易疲勞而產(chǎn)生誤判，而且不能進(jìn)行記錄，會給測量結(jié)果帶來很大的誤差。通常情況下可以通過顯微鏡解決肉眼分辨率低的問題，但是檢測起來還是相當(dāng)麻煩。視頻采集技術(shù)的發(fā)展可以很好地解決以上問題，能對測試過程進(jìn)行圖像采集、記錄和分析，達(dá)到實時監(jiān)測的要求，而且有很高的分辨率，方便測量員對測量過程的控制。

視頻采集技術(shù)在四探針測量中發(fā)揮著重要作用，主要體現(xiàn)在兩個方面：

1）對顯微鏡監(jiān)測對象的圖像進(jìn)行實時采集；

2）對采集到的視頻數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計算機(jī)實現(xiàn)視頻信息的記錄與顯示，從而使得傳統(tǒng)的探針測試臺與計算機(jī)技術(shù)緊密地結(jié)合起來。

視頻采集技術(shù)的引進(jìn)實現(xiàn)了對四探針測量過程真正意義上實時監(jiān)測，提高了測試儀的控制精que性，從而提高了測量結(jié)果的精度和準(zhǔn)確性，尤其對觀測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。